Uvod v opremo EFU

V zadnjih letih se s hitrim razvojem industrije plošč in polprevodnikov povpraševanje po terminalskem čiščenju v čistih prostorih in opremi za mikrookolje povečuje, zahteve pa postajajo vse višje in višje. Med njimi jeventilatorska filtrska enota na strani opreme EFUje v zadnjih letih vstopil v vidno polje vsakogar. Večina EFU je uvoženih iz tujine z naključnimi kompleti opreme, ki imajo dolge dobavne roke in visoke cene, kar sta njihovi slabosti. Meiai je predan raziskavam in razvoju vrhunske opreme za čiščenje. V preteklih letih je vložil veliko delovne sile in materialnih virov, se naučil mednarodnih vrhunskih tehnologij in neodvisno inoviral na podlagi projektnih potreb.

Polno angleško ime EFU je Equipment Fan Filter Unit, kar je enota ventilatorskega filtra opreme. Je zelo podoben naši običajni ventilatorski filtrski enoti FFU (Fan Filter Unit), kakšna je torej razlika med obema? Prvič, uporabna mesta so različna. FFU se običajno uporablja na tovarniški strani, to je nameščen na strop čiste sobe. Enota ventilatorskega filtra EFU/na strani opreme, kot pove že ime, je nameščena na strojno opremo ali opremo za mikrookolje v čisti sobi, kot so stroji za fotolitografijo, STOCKER, LUL (INDEXER), COATER, čistilni stroji itd. , so načini namestitve EFU in FFU različni. FFU je na splošno deljena zasnova. Oprema uporablja lastno težo, filter in stropno kobilico za doseganje tesne namestitve. Običajna oblika vgradnje je horizontalna vgradnja. Način namestitve EFU je razmeroma zapleten. Obstajata predvsem dve obliki: horizontalna namestitev in vertikalna namestitev. Škatla in filter sta običajno pritrjena in povezana z vijaki in maticami. Med strojem EFU in strojem so uporabljeni posebni namestitveni nosilec ter vijaki in matice. Fiksno in trdno povezano. Poleg tega se dimenzije debeline, metode vzdrževanja, nadzorni sistemi, delovni parametri, zahteve glede materialov itd. opreme EFU razlikujejo od opreme FFU.

Izvedite analizo okoljskih izboljšav za staro strojno opremo, nadgradite čisti sistem, izboljšajte obstoječe okolje za potrebe procesne proizvodnje, pomladite stare stroje in izboljšajte donose izdelkov. Študije primerov obnove in nadgradnje starih strojev

Velika količina zraka/majhne vibracije/nizka raven hrupa/visoka učinkovitost

Ključne besede: hepa ventilatorski filter ffu čistilec zraka prenosna hepa ventilatorska filtrirna enota ventilator in filtrirna enota ventilatorska filtrirna enota za prodajo pretočna napa ventilatorska filtrirna enota